La métrologie : une science au cœur des technologies contemporaines>
Calibrated measurements of dopant concentration on vertical nanowires by scanning microwave microscopy
José A. Morán-Meza  1, *, @  
1 : Laboratoire National de Métrologie et dÉssais [Trappes]  (LNE)
Laboratoire national de métrologie et d'essais (LNE)
29 avenue Roger Hennequin 78197 Trappes cedex -  France
* : Auteur correspondant
Type : : Oral
Langue du texte intégral : anglais
Thématiques : Mesures haute fréquence, outils et méthodes de calibrage
Mots-Clés : Dopant profiling ; nanowire ; calibration method ; scanning microwave microscopy
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