La métrologie : une science au cœur des technologies contemporaines>
Station de Mesure on-Wafer Nano-Robotisée Assistée par IA : Automatisation, Précision et Évaluation des Performances
Clément Lenoir  1, 2, @  , Mohamed Sebbache  1, 2, @  , Daouda Seck  1, 3, @  , Djamel Allal  3, *, @  , Kamel Haddadi  1, 2, *, @  
1 : Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520  (IEMN)
Centrale Lille, Université de Lille, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Polytechnique Hauts-de-France, Junia
[Univ. Lille, CNRS, Centrale Lille Institut, Junia, Univ. Polytechnique Hauts-de-France] ––Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX -  France
2 : Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancé - USR 3380  (IRCICA)
Université de Lille, Centre National de la Recherche Scientifique
- CAMPUS Haute-Borne CNRS IRCICA-IRI-RMN- Parc Scientifique de la Haute Borne- 50 Avenue Halley- BP 70478- 59658 Villeneuve d'Ascq -  France
3 : Laboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes]  (LNE)
-
29 avenue Roger Hennequin 78197 Trappes cedex -  France
* : Auteur correspondant
Type : : Oral
Langue du texte intégral : anglais
Thématiques : Mesures haute fréquence, outils et méthodes de calibrage
Mots-Clés : Mesures sous pointes hyperfréquences ; Calibration ; Nano ; robotique ; Intelligence artificielle
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